一.產(chǎn)品用途：

本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度最高可達450℃

性能特點：

1真空度可達10 Pa

2精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口

3日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

二.產(chǎn)品參數(shù)：

型號：ZK-固化系列                                 

內(nèi)箱尺寸（H*W*D) ：20*20*40       30*30*60

控溫范圍：RT+20℃~450℃

溫度波動：±0.5℃

真空度：10pa

氧含量：≤20ppm

功率：9.0    12.0

電源：AC380V±10%3中50HZ

內(nèi)箱材質(zhì)：SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì)：鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料：硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置：聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp

設(shè)備適用范圍:

1、本產(chǎn)品適用于石油、化工、冶金、醫(yī)藥、紡織、食品、生物工程、制藥、?；穫}庫、涂料車間、醫(yī)療、實驗室、航天航程等強烈性環(huán)境中，有防爆要求的場所；

2、1區(qū)、2區(qū)危險氣體場所

3、IIA、IIB類T1-T4組性強烈氣體或蒸汽環(huán)境；

4、環(huán)境溫度：-5℃~+43℃。

  設(shè)備制造標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 3836.1-2021《爆炸性環(huán)境第1部分:設(shè)備 通用要求》

GB/T3836.2-2021《爆炸性環(huán)境第2部分:由隔爆外殼“d”保護的設(shè)備》

GB/T3836.4-2021《爆炸性環(huán)境第4部分:由本質(zhì)安全型“i”保護的設(shè)備》

GB/T 3836.15-2021《爆炸性環(huán)境 第15 部分:電氣裝置的設(shè)計、選型和安裝》

● 獲得國家防爆電氣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢頒發(fā)的防爆合格證